Simulationsstudien für Deflektometriesysteme

VEW-Vereinigte Elektronikwerke Bremen, Bremen; 2BIAS-Bremer Institut für angewandte Strahltechnik, Bremen

li@vew-gmbh.de

Abstract

Spiegelnde oder teilreflektierende Oberflächen lassen sich mit Deflektometrie-Messsystemen vollflächig, kontaktlos, schnell und mit hoher Genauigkeit vermessen. Da das deflektometrische Verfahren sehr gut skalierbar ist, kann es sowohl zur Vermessung von mikroskopischen als auch makroskopischen Objekten mit Messfeldbreiten im Bereich von Millimetern bis mehreren Metern verwendet werden. Im vorliegenden Beitrag wird eine neu entwickelte Simulations-Softwareumgebung präsentiert, mit der deflektometrische Messsysteme auf Messobjekte und –geometrie angepasst und optimiert werden können. Die von der Simulationssoftware gelieferte Abschätzung von zu erwartenden Messfehlern ist nicht nur für Machbarkeitsanalysen, sondern unter anderem auch zur Bewertung von neuen Auswertealgorithmen einsetzbar.

PDF herunterladen
@inproceedings{dgao114-a1, title = {Simulationsstudien für Deflektometriesysteme}, author = {W. Li, M. Sandner, J. Burke}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 114. Jahrestagung}, year = {2013}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Vortrag A1} }
114. Jahrestagung der DGaO · Braunschweig · 2013