Aktueller Stand des EMRP-Projektes zur absoluten Formmessung optischer Komponenten
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Germany
2Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestraße 2-12, 10587 Berlin, Germany
3VSL Dutch Metrology Institute, Delft, P.O. Box 654, 2600 AR, The Netherlands
Abstract
Das im Rahmen des europäischen Metrologieprogramms EMRP durchgeführte Projekt „Optical and tactile metrology for absolute form characterisation“ mit 15 Partnern (Nationale Metrologieinstitute, Forschungsinstitute und Firmen) ist weitgehend durchgeführt. Die Ebenheitsmesstechnik konnte durch neue Prinzipien, z.B. hinsichtlich der Ortsauflösung bei deflektometrischen Verfahren, verbessert werden. Zur Asphärenmessung wird einerseits an der PTB ein flächenhaft messendes Tilted Wave Interferometer mit einem Scanning-Verfahren kombiniert, andererseits sind in dem Projekt mehrere Partner, die punktweise abtastende Verfahren wie z.B. höchstgenaue Koordinatenmessgeräte mit optischen oder taktilen Sensoren hinsichtlich der Genauigkeit beim Messen optischer Oberflächen verbessert haben. Um die verschiedenen Fehlereinflüsse und Unsicherheitsbeiträge analysieren zu können werden die Verfahren in Messvergleichen an gemeinsamen Probekörpern miteinander verglichen. Die bisherigen Resultate werden vorgestellt und es wird ein Ausblick auf zukünftige Entwicklungen gegeben.