Bewertung der optischen Güte mit Hilfe der axialen Punktbildfunktion

Carl Zeiss Microscopy GmbH

joerg.sprenger@zeiss.com

Abstract

Gerade im Bereich der Mikroskopie werden hohe Anforderungen sowohl an die Leistungsparameter als auch an die optische Abbildungsqualität der Objektive gestellt. Infolge der Vielzahl und der Komplexität der verschiedenen Mikroskopieverfahren ist jedoch die optische Qualität in der Anwendung von einer ganzen Reihe unterschiedlichster Parameter abhängig. Die axiale PSF (Point-Spread-Function) erweist sich hier als empfindliches und zudem leicht messbares Bewertungskriterium. Ausgehend vom idealen Intensitätsverlauf bei Fraunhoferscher Beugung soll mit verschiedenen Verfahren der Einfluss bestimmter Aberrationen sowie die Beeinflussung der Messung durch weitere Effekte untersucht werden.

Keywords

Prüfung optischer Systeme Mikroskopie Beugungstheorie
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@inproceedings{dgao115-b22, title = {Bewertung der optischen Güte mit Hilfe der axialen Punktbildfunktion}, author = {J. Sprenger}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 115. Jahrestagung}, year = {2014}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk B22} }
115. Annual Conference of the DGaO · Karlsruhe · 2014