Mustererzeugung zum Phasenschieben durch Rotation für die Deflektometrie Creating patterns for phase shifting by rotation in deflectometry

VERTRAULICH BIS ZUR REGULÄREN VERÖFFENTLICHUNG Deflektometrische Messdaten stellen die Steigungskomponenten einer spiegelnden Oberfläche dar; deshalb werden üblicherweise Daten mit zwei zueinander senkrechten Referenzstreifenmustern aufgenommen. Falls die Verwendung eines Monitors als Musteranzeige nicht möglich ist, kann mit einem statischen Schirm gearbeitet werden, der zur Phasenmessung entlang zwei Achsen verschoben und dazwischen um 90° gedreht wird. Alternativ können gekreuzte Muster dargestellt werden, die mittels Verschiebungen der Referenzstruktur in nur einer Richtung Phasenmessungen beider Richtungskomponenten erlauben. Aus einer aktuellen Aufgabenstellung stammt die Frage, ob ein ähnliches Verfahren auch mit Rotationen einer Maske möglich ist, um kreisförmige Flächen zu messen. Wir schlagen vor, gekreuzte Streifenmuster als gegenläufige Spiralen darzustellen, welche überall senkrecht aufeinander stehen und damit linear unabhängige Phasenmessungen für die Steigungskomponenten ermöglichen. Die Auswertung der Daten ist schwieriger als bei kartesischen Systemen, aber die Empfindlichkeiten für radiale oder tangentiale Steigungsfehler sind in weiten Grenzen wählbar.