Erweiterte Anwendungen bei der Radiusmessung optischer Komponenten

Die Flächen vieler optischer Elemente haben eine sphärische Form. Neben der Sphärizität ist der Krümmungsradius eine wichtige Messgröße. Ein übliches Messverfahren nutzt ein konvergentes optisches Strahlenbündel eines Interferometers. Im ersten Schritt wird der Prüfling so positioniert, dass der Fokus der einlaufenden Strahlen auf der Prüflingsoberfläche liegt und das Licht wie bei einem Spiegel reflektiert wird. Bei der zweiten Position wird der Prüfling entlang der optischen Achse so verschoben, dass das Strahlenbündel senkrecht auf die sphärische Oberfläche trifft und in sich zurückreflektiert wird. Der Krümmungsradius des Sphärenabschnitts ist dann durch die Differenz der beiden Positionen bestimmt. Mit dem Radiusmessgerät können allerdings auch komplexere Messungen durchgeführt werden. Ein Beispiel ist die Messung von Multi-Radien-Prüflingen, deren Form aus zusammengesetzten Sphärenabschnitten bestehen, und die für die Rückführung von Asphärenmessgeräten genutzt werden. Ein anderes Beispiel ist die Nutzung der Apparatur bei der Ermittlung der Brechzahl von Plankonvexlinsen. Ergebnisse, Unsicherheitsberechnungen und Erfahrungen bei diesen Messanwendungen werden vorgestellt.