Interferometrische Radienbestimmung unter nicht konstanten Umgebungsbedingungen

Die Fertigungsmöglichkeiten für präzise Optiken sind in den letzten Jahren deutlich gestiegen. Hochgenaue Bestimmung wichtiger Parameter wie z.B. der Radius einer Sphäre, die auch bei der indirekten Verwendung von Optiken zur Kalibrierung wesentlich sind, sind in diesem Kontext wichtige Herausforderungen. Etablierte interferometrische Messverfahren bieten die Möglichkeit, Radien schnell, berührungslos und sehr präzise zu bestimmen. Mit der Erzielung hoher Präzision sind dabei hohe Anforderungen an die Umgebung und das Messgerät verknüpft, die einem Einsatz in rauer industrieller Umgebung oft entgegenstehen. In dieser Arbeit wird die Radienbestimmung von sphärischen Segmenten mit einem klassischen Autokollimationssphärometer vorgestellt. Dabei werden Möglichkeiten aufgezeigt, wie eine hohe Präzision der Messung bei reduzierten Anforderungen an den Prüfaufbau erreicht werden kann. Besonderes Augenmerk liegt hier in der Betrachtung nicht konstanter Umgebungsbedingungen, die sich in driftenden Messergebnissen widerspiegeln und die durch die vorgestellte Algorithmik stark reduziert werden können.