Hybride Phasengitter mit Subwellenlängenstrukturen als Polarisationsstrahlteiler unter senkrechtem Lichteinfall

Die Aufteilung zweier senkrecht zueinander polarisierter Strahlenbündel ist bspw. für die Trennung von Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang interessant. Klassische Strahlteiler werden durch doppelbrechende Materialien oder aufwändige dielelektrische Beschichtungen umgesetzt. Für die On-axis-Messtechnik können Gitter als Strahlteiler verwendet werden, bei denen die 0. Ordnung zur Beleuchtung und die 1. Ordnungen im Rücklauf zur Detektion genutzt werden. Hierbei wäre es für die Gesamteffizienz des Systems von Vorteil, polarisationsabhängige Beugungseffizienzen zu verwirklichen. Wir stellen ein hybrides dielektrisches Phasengitter vor, welches unter senkrechtem Lichteinfall arbeitet und eine große Abhängigkeit der Beugungseffizienzen von der Polarisation aufweist. Das Gitter besteht aus beugenden Mikro- und nicht beugenden Nanostrukturen. Das Gitter weist eine hohe Toleranz gegenüber Verkippung auf, was es entscheidend von Gittern unter Littrow-Einfall absetzt. Neben dem Design und der Simulation des Gitters wird die Herstellung mit Hilfe der Soft-UV-Nanoimprint-Lithographie an der TU Ilmenau diskutiert sowie erste Ergebnisse der experimentellen Charakterisierung vorgestellt.