Charakterisierung von Wellenfrontsensoren mittels sphärischer Wellenfronten

Für eine Vielzahl von optischen Anwendungen, wie z.B. bei adaptiven Optiken in der Astronomie, der optischen Formmessung, der Ophthalmologie oder für sub-Nanometer genaue Längenmessungen ist es notwendig, optische Wellenfronten möglichst genau (besser als λ/50) zu bestimmen. Hierfür wird von der PTB und der Optocraft GmbH innerhalb eines gemeinsamen TransMeT-Projektes eine rückführbare Kalibrierung von Wellenfrontsensoren (WS) entwickelt, welche auf dem Prinzip des Traceable Multisensor (TMS) Verfahrens basiert. Aufbauend auf der im letzten Jahr vorgestellten Charakterisierung mittels ebener Wellenfronten, stellen wir hier ein Verfahren vor, bei dem die Charakterisierung der WS mit gekrümmten Wellenfronten mit einem Radius bis zu ca. 0,5 m durchgeführt wird. Dies ermöglicht eine umfassendere Charakterisierung des WS: Neben der Referenzposition der Spots kann damit auch die Empfindlichkeit, sowie der systematische Sensorfehler in Abhängigkeit vom Wellenfrontgradienten bestimmt werden. Wir stellen den verwendeten Messaufbau vor und zeigen erste Messergebnisse. Anschließend diskutieren wir unterschiedliche Einflussfaktoren auf die Messungen sowie die Justage des Wellenfrontsensors.