NPMM200 – Sub-Nanometer-Positionierung in großen Volumina

Die Kalibrierung von Topographie-Messsystemen und die Quantifizierung ihrer Messunsicherheit bleibt eine klassische Herausforderung in der Messtechnik. Insbesondere Messsysteme für Messunsicherheiten im Nanometermaßstab können nur bedingt auf zertifizierte Kalibriernormale zurückgreifen, da Kalibriernormale nicht existieren oder noch Gegenstand der Forschung sind, wie zum Beispiel in der Freiformflächenmesstechnik. In diesem Kontext diskutieren wir die neu am ITO in Betrieb genommene NPMM200, eine DFG-geförderte offene Forschungsanlage, die makroskopische Positionsfahrten in 3D (200x200x25 mm^3) mit sub-Nanometer Auflösung und höchster Präzision erlaubt. Das offene Sensorkonzept erlaubt es, mit der Maschine zu messen oder aber die Positioniergenauigkeit für die Evaluierung von Sensoren oder Sensor/Marker-Kombinationen einzusetzen. In ersten Messungen an Stufennormalen konnte eine Reproduzierbarkeit bei Höhenmessungen im Bereich von 100 Pikometern gezeigt werden. Neben dem Aufbau der Anlage geht der Vortrag darauf ein, was das Konzept der „offenen Forschungsanlage“ bedeutet, also wie die einzigartigen Möglichkeiten der NPMM200 auch von anderen Forschergruppen genutzt werden können.