Untersuchung der dreidimensionalen Feldverteilung bei Beugungsexperimenten in inkohärentem Licht (Lau Effekt)

In diesem Beitrag untersuchen wir den sog. Lau-Effekt für die Anwendung in der lithographischen Belichtung auf nicht planen Ebenen. Bei dem herkömmlichen Lau-Versuchsaufbau mit zwei inkohärent beleuchteten identischen Ronchi Gittern werden die Perioden und Breiten der Lau-Streifen in der Auffangebene bzw. der Fokusebene einer Fourier Linse betrachtet. Mit Blick auf die Zielsetzung der lithographischen Beleuchtung auf gekrümmten Ebenen ist eine grundlegende Analyse der dreidimensionalen Intensitätsverteilung auch außerhalb dieser Beobachtungsebene notwendig. Hierzu vermessen und simulieren wir die Intensitätsverteilungen um die Fourier Ebene herum. Die 3D-Intensitätsverteilungen werden von zahlreichen Parametern beeinflusst. So spielen z.B. die räumliche Kohärenz der Beleuchtung und die Parameter der verwendeten Gitter eine entscheidende Rolle. Anhand der realisierten Experimente und Simulationen wird der Einfluss dieser Parameter auf die erreichbare 3D Feldverteilung untersucht.