Simulation eines beidseitig antastenden Interferometers mit Hilfe von SimOptDevice

Im Allgemeinen werden zur Längenmessung prismatischer Körper, wie beispielsweise Endmaße, einseitig antastende Interferometer verwendet, wenn kleinste Messunsicherheiten erreicht werden sollen. Hierzu zählen unter anderem das Twyman-Green- bzw. das Kösters-Interferometer. Um einen Bezug zur nicht sichtbaren Endfläche der Maßverkörperungen zu erhalten, ist bei dieser Art von Interferometern ein Anschub der Endmaße an eine Referenzplatte erforderlich, der einen begrenzenden Faktor für die Reproduzierbarkeit und die erreichbare Messunsicherheit darstellt. Ein beidseitig antastendes Interferometer wurde in der PTB aufgebaut, mit dessen Hilfe die Länge eines prismatischen Körpers auch ohne Anschub gemessen werden kann. In einer temperierbaren Vakuumkammer mit stabilen Messbedingungen befinden sich zwei gegenläufig symmetrisch angeordnete Strahlenwege, mit denen ein prismatischer Körper an beiden Endflächen gleichzeitig optisch angetastet wird. Nun sollen Fehlereinflüsse durch eine Simulation in SimOptDevice, einer an der PTB entwickelten Software für virtuelle Experimente, untersucht werden, um die Messunsicherheit qualitativ und quantitativ zu charakterisieren.