Interferometrie in streifender Inzidenz: Simulationen und Messergebnisse

Die interferometrische Vermessung technisch rauer Asphären in streifende Inzidenz stellt eine neue Möglichkeit dar, unpolierte Linsen auf ihre Formabweichungen zu prüfen. Die komplexe Messgeometrie und die Vielzahl der Freiheitsgrade bei der Justage des Interferometers selbst und insbesondere des Prüflings stellen eine erhebliche Schwierigkeit dar. Außerdem erschwert der asymmetrische und relativ schmale Interferenzbereich die korrekte Interpretation der Messdaten. In diesem Beitrag wird zuerst die vereinfachte Messsituation mit einem sphärischen Objekt betrachtet. Dabei werden die ersten Simulationsergebnisse mit den realen Messdaten verglichen und die Eliminierung der Dejustagen diskutiert.