Der Einfluss der Wellenvektorunsicherheit auf die Rekonstruktion der Oberflächenform bei einer MArS-Messung

Messungen mit der Multiple Aperture Shear-Interferometry (MArS) [1] beruhen auf der Bestimmung der Wellenvektoren der durch den Prüfling geformten Wellenfront in der Fokusebene. Bei bekannter Lichtquellenposition, Fokusebene und Eingangswellenfront, kann jeder Wellenvektor zu seiner Quelle zurückverfolgt und die Prüflingsoberfläche rekonstruiert werden. Die Rekonstruktion der Oberflächenform mittels eines Optimierungsprozesses wirft zwei Fragen auf: 1. Gibt es zu einer gemessenen Wellenfront eine eindeutige zugehörige Oberfläche? 2. Wie propagiert die Unsicherheit der rekonstruierten Wellenvektoren in die Unsicherheit der rekonstruierten Oberflächenform? Um diese Fragen zu klären, wird in einem theoretischen Modell die Eindeutigkeit, der durch Reflektion an verschiedenen Prüflingsoberflächen entstehenden Wellenvektorfelder, überprüft. Zur Bestimmung der Anforderungen an die Wellenvektor-Messung wird der Einfluss von Messfehlern berücksichtigt.