Eberhard Manske

Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau

Technische Universität Ilmenau

Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau

12 papers

B34 · Talk · 126. Conference (2025)

Interferometrisches Streifenstabilisierungssystem für scannende Interferenzlithografie auf Basis eines Polarisations-Bildsensors

K. Treptow, H. Wu, J. Rühle, I. Ortlepp, O. Sawodny, E. Manske, T. Kissinger, C. Pruß, T. Haist, S. Reichelt

P18 · Poster · 126. Conference (2025)

Implementierung der Auswertealgorithmen für ein neuartiges mikroskopisches Verfahren zur Bestimmung bidirektionaler Größen aus Fokusserienmessungen

S. Dopslaff, J. Krüger, P. Manley, B. Bodermann, P.-I. Schneider, D. Bergmann, R. Köning, C. Eder, A. Heinrich, M. Hammerschmidt, L. Zschiedrich, E. Manske

A9 · Talk · 123. Conference (2022)

Aktive Beeinflussung des Brechungsindex der Luft für optische Präzisionssysteme

M. Hoffmann, I. Ortlepp, E. Manske

A10 · Talk · 123. Conference (2022)

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Heterodynes Interferometer mit vier Strahlen für hochpräzise Längen- und Winkelmessung in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

G. Straube, J. S. Fischer-Calderón, I. Ortlepp, R. Füßl, E. Manske

B29 · Talk · 123. Conference (2022)

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Integration eines ultravioletten Direktschreiblasers und dessen roten differentiell-konfokalen Messsystems

J. Belkner, J. Leineweber, A. V. Häcker, I. Ortlepp, E. Manske

B33 · Talk · 123. Conference (2022)

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Weitere Entwicklungen zum Zwei-Photonen direktem Laserschreiben zur großflächigen Nanostrukturierung

A. V. Häcker, L. Mohr-Weidenfeller, E. Manske

B37 · Talk · 121. Conference (2020)

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A thermal actuated Membrane as oscillating Pinhole for the high-frequent Modulation of Light

J. Belkner, J. Döll, C. Koppka, M. Breiter, I. Ortlepp, U. Gerhardt, S. Strehle, E. Manske

P27 · Poster · 118. Conference (2017)

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Kompakter Nullpunkt-Winkelsensor auf Basis eines Kösters-Prismas

V. Ullmann, E. Manske

A3 · Talk · 116. Conference (2015)

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High-precision optical step detection

J. Schuppich, R. Kampmann, S. Sinzinger, R. Mastylo, E. Manske

A14 · Talk · 115. Conference (2014)

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Absolute Längenmessung in einem polarisationsoptischen Weißlichtinterferometer

V. Ullmann, E. Manske

A16 · Talk · 112. Conference (2011)

Multisensortechnologie mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine

E. Manske, G. Jäger, T. Hausotte

A37 · Talk · 112. Conference (2011)

Verbesserung der Kantenfindung mit einem Fokussensor durch Simulationen auf der Grundlage rigoroser Beugungstheorie

H. Baitinger, E. Manske, R. Mastylo, N. Vorbringer-Dorozhovets, S. Sinzinger, G. Jäger, J. Bischoff