D. Fischer

ASML Berlin GmbH

7 Beiträge

B41 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Using a white noise reference object to determine the depth of field of the instrument transfer function for Fizeau interferometers

D. Fischer, V. Burgarth
B12 · Vortrag · 121. Tagung (2020)

Subwellenlängenstrukturierte Gitter mit kontrollierbaren Beugungseffizienzen

J. Wüster, D. Fischer, A. Behrens, P. Feßer, S. Sinzinger
B14 · Vortrag · 121. Tagung (2020)

Mikrostrukturierung auf nicht-planen Oberflächen durch SLM-basierte holographische Lithographie

D. Fischer, S. Sinzinger
P37 · Poster · 120. Tagung (2019)

Optimierung der Projektionsqualität für SLM-basierte holographische Lithographie auf nicht-planen Oberflächen

D. Fischer, S. Sinzinger
B12 · Vortrag · 119. Tagung (2018)

Maskenlose Lithographie für die dreidimensionale Mikrostrukturierung

D. Fischer, S. Sinzinger
P44 · Poster · 119. Tagung (2018)

Der Lau-Effekt in der lithographischen Mikro-Nanostrukturierung

X. Cao, P. Feßer, D. Fischer, M. Hofmann, Y. Bourgin, S. Sinzinger
P6 · Poster · 118. Tagung (2017)

Phase-retrieval Algorithmen zur Wellenfrontanalyse

T. Meinecke, D. Pätz, D. Fischer, S. Sinzinger