D. Fischer
ASML Berlin GmbH
7 papers
B41 · Talk · 124. Conference (2023)
Using a white noise reference object to determine the depth of field of the instrument transfer function for Fizeau interferometers
B12 · Talk · 121. Conference (2020)
Subwellenlängenstrukturierte Gitter mit kontrollierbaren Beugungseffizienzen
B14 · Talk · 121. Conference (2020)
Mikrostrukturierung auf nicht-planen Oberflächen durch SLM-basierte holographische Lithographie
P37 · Poster · 120. Conference (2019)
Optimierung der Projektionsqualität für SLM-basierte holographische Lithographie auf nicht-planen Oberflächen
B12 · Talk · 119. Conference (2018)
Maskenlose Lithographie für die dreidimensionale Mikrostrukturierung
P44 · Poster · 119. Conference (2018)
Der Lau-Effekt in der lithographischen Mikro-Nanostrukturierung
P6 · Poster · 118. Conference (2017)