B30 · Vortrag · 123. Tagung (2022)
Abbildende holografische EUV-Gitter
M. Burkhardt, M. Steglich, A. Kalies, M. Stumpf, D. Lehr
A28 · Vortrag · 119. Tagung (2018)
Angepasste Interferenzgitter für spektroskopische und Laser-Anwendungen von EUV bis NIR
M. Burkhardt, F. Koch, A. Kalies, L. Erdmann, M. Helgert, A. Pesch, O. Schönbrodt, F. Frost, F. Finzel, D. Lehr, A. Gatto, S. Sinzinger