A. Finzel

Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung, 04318 Leipzig, Deutschland

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P31 · Poster · 120. Tagung (2019)

Reaktives Ionenstrahlätzen von hochdispersiven Transmissionsgittern mit höchster Beugungseffizienz

G. Dornberg, A. Finzel, F. Koch, S. Görsch, F. Frost, T. Glaser