P5 · Poster · 109. Tagung (2008)
Simulation von Gitterbeugung mit der Normalenvektormethode
P. Götz, T. Schuster, K. Frenner, S. Rafler, W. Osten
B10 · Vortrag · 108. Tagung (2007)
Strategien für die Beschleunigung der Bildsimulation bei der Defekterkennung an Nanostrukturen
S. Rafler, T. Schuster, U. Seifert, W. Osten
B5 · Vortrag · 107. Tagung (2006)
Scatterometrie an Kreuzgitterstrukturen
T. Schuster, J. Kauffmann, N. Kerwien, H. J. Tiziani, W. Osten, P. Reinig