Quantitative dimensionelle Mikroskopie an Mikro- und Nanostrukturen: Untersuchungen zum Einfluss verschiedener Kantengeometrien

Höchstauflösende optische Mikroskopie ist ein wichtiges Instrument zur dimensionellen Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen. Präzise Messungen dimensioneller Größen wie Strukturbreiten und –abstände erfordern ein tiefes Verständnis der Einflüsse geometrischer Strukturparameter wie z. B. Kantenwinkel, -profile oder Strukturhöhen auf die mikroskopische Abbildung der Strukturkante. Diese Einflüsse wurden mittels rigoroser Simulationsrechnungen systematisch untersucht und quantifiziert. An Chrom auf Quarzstrukturen mit unterschiedlichen Kantenprofilen bzw. Strukturhöhen wurden hellfeldmikroskopische UV-Messungen durchgeführt. Rasterkraftmikroskopische Messungen lieferten die geometrischen Strukturparameter, die für die rigorosen Simulationsrechnungen verwendet wurden. Aus dem Vergleich der Simulationsdaten und der durch die Hellfeldmikroskopie gewonnenen Messdaten resultiert die Strukturbreite. Die Ergebnisse der optischen UV-Messungen werden mit elektronenoptischen Messungen verglichen.