Bewertung von Weißlichtinterferometermessungen mit einer Kantenteststruktur

Es wird ein einfaches physikalisches Modell zur Erklärung von Artefakten bei der Topographiebestimmung an steilen Kanten mit einem Weißlichtinterferometer aufgestellt. Anhand des Modells werden die physikalischen Parameter identifiziert, die die Artefaktentstehung beeinflussen. Unter Berücksichtigung dieser Parameter wird der Entwurf und die Realisierung einer Teststruktur vorgestellt, mit der überprüft werden kann, ob und wie stark diese Artefakte auftreten. Messungen an der Teststruktur werden mit dem Modell verglichen.