M. Burkhardt

B30 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Abbildende holografische EUV-Gitter

M. Burkhardt, M. Steglich, A. Kalies, M. Stumpf, D. Lehr

A17 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Bestimmung der optischen Konstanten und Streueigenschaften von transparenten Kunststoffen auf Polyurethanbasis für den Einsatz in der Optoelektronik

J. Bauer, O. Fursenko, F. Heinrich, M. Gutke, B. Dietzel, E. Kornejew , O. Broedel, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Edling, S. Pulwer, P. Steglich , M. Herzog, S. Schrader

P7 · Poster · 122. Tagung (2021)

Neuartige UV-transparente 2-Komponenten-Polyurethanharze für Chip-on-Board-LED-Mikrolinsen

M. Gutke, J. Bauer, S. Pulwer, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Gruenefeld, M. Gamp, M. Edling, V. Stoycheva, P. Steglich , F. Heinrich, S. Steffen, M. Herzog, C. Dreyer , S. Schrader

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P39 · Poster · 121. Tagung (2020)

Asymmetrische Polymer-Linsen für Beleuchtungssysteme

J. Bauer, M. Gutke, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Gruenefeld, M. Gamp, M. Edling, P. Steglich, F. Heinrich, S. Schrader

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P40 · Poster · 121. Tagung (2020)

Neuartige UV-transparente 2-Komponenten-Polyurethanharze für Chip-on-Board-LED-Mikrolinsen

M. Gutke, J. Bauer, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Gruenefeld, M. Gamp, M. Edling, V. Stoycheva, P. Steglich, F. Heinrich, S. Steffen, M. Herzog, C. Dreyer , S. Schrader, C. Gerhard

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A36 · Vortrag · 120. Tagung (2019)

Methoden zur Charakterisierung optischer Gitter über einen großen Ortsfrequenzbereich

F. Koch, M. Burkhardt, M. Schnabel, T. Glaser, S. Sinzinger

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A27 · Vortrag · 119. Tagung (2018)

Optimization and manufacturing of gold gratings for pulse compression

F. Koch, O. Schönbrodt, M. Burkhardt, D. Lehr, T. Glaser, S. Sinzinger

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A28 · Vortrag · 119. Tagung (2018)

Angepasste Interferenzgitter für spektroskopische und Laser-Anwendungen von EUV bis NIR

M. Burkhardt, F. Koch, A. Kalies, L. Erdmann, M. Helgert, A. Pesch, O. Schönbrodt, F. Frost, F. Finzel, D. Lehr, A. Gatto, S. Sinzinger

P60 · Poster · 117. Tagung (2016)

Ion beam etching process simulation for the pattern transfer of photoresist diffraction gratings generated by holography

M. Burkhardt, R. Fechner, F. Frost, S. Sinzinger

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B12 · Vortrag · 116. Tagung (2015)

Blazed XUV Gratings with a Very Low Level of Stray Light

M. Burkhardt, R. Fechner, A. Nickel, F. Frost, A. Gatto, C. Laubis, F. Scholze, S. Sinzinger, V. Soltwisch

P19 · Poster · 115. Tagung (2014)

Streulichtarme holografische Blaze-Gitter für den EUV-Bereich

M. Burkhardt, R. Fechner, D. Flamm, F. Frost, A. Gatto, C. Laubis, F. Scholze, S. Sinzinger, V. Soltwisch

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P43 · Poster · 114. Tagung (2013)

Interferenzlithografie mit gesteuerter Belichtungsenergieverteilung

M. Burkhardt, R. Steiner, A. Gatto, S. Sinzinger

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A3 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

Imaging gratings with modulated blaze realized by a combination of holography and reactive ion beam etching

M. Burkhardt, R. Fechner, L.Erdmann, F.Frost, R. Steiner, O. Sandfuchs, A. Schindler, A. Gatto, S. Sinzinger

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B27 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Holografisch mikrostrukturierte Gitter für Hochleistungs-spektrometer

O. Sandfuchs , M. Burkhardt , R. Steiner , A. Gatto , R. Brunner

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P47 · Poster · 112. Tagung (2011)

Möglichkeiten und Grenzen der interferenzlithografischen Herstellung modulierter Blazegitter

M. Burkhardt , O. Sandfuchs , A. Gatto , R. Steiner , St. Sinzinger

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B31 · Vortrag · 110. Tagung (2009)

Imaging gratings for multiorder microspectrometers realized by interference lithography using supplementary holograms

M. Burkhardt, H.-J. Dobschal, S. Sinzinger, R. Brunner

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A35 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Funktionsintegrierende Elemente zur Strahlformung und Kohärenzbeeinflussung für UV-Mikroskopie und Materialbearbeitung

M. Burkhardt, K. Rudolf, S. Sinzinger, R. Brunner

B18 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Simulation der Photoresistprozessierung zur Herstellung beugungsoptischer Elemente

S. Stoebenau, M. Burkhardt, M. Hoffmann, S. Sinzinger