DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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F. Frost

Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung, 04318 Leipzig, Deutschland

7 Beiträge

P31 · Poster · 120. Tagung (2019)

Reaktives Ionenstrahlätzen von hochdispersiven Transmissionsgittern mit höchster Beugungseffizienz

G. Dornberg, A. Finzel, F. Koch, S. Görsch, F. Frost, T. Glaser
A28 · Vortrag · 119. Tagung (2018)

Angepasste Interferenzgitter für spektroskopische und Laser-Anwendungen von EUV bis NIR

M. Burkhardt, F. Koch, A. Kalies, L. Erdmann, M. Helgert, A. Pesch, O. Schönbrodt, F. Frost, F. Finzel, D. Lehr, A. Gatto, S. Sinzinger
P60 · Poster · 117. Tagung (2016)

Ion beam etching process simulation for the pattern transfer of photoresist diffraction gratings generated by holography

M. Burkhardt, R. Fechner, F. Frost, S. Sinzinger
Poster PDF
B12 · Vortrag · 116. Tagung (2015)

Blazed XUV Gratings with a Very Low Level of Stray Light

M. Burkhardt, R. Fechner, A. Nickel, F. Frost, A. Gatto, C. Laubis, F. Scholze, S. Sinzinger, V. Soltwisch
P19 · Poster · 115. Tagung (2014)

Streulichtarme holografische Blaze-Gitter für den EUV-Bereich

M. Burkhardt, R. Fechner, D. Flamm, F. Frost, A. Gatto, C. Laubis, F. Scholze, S. Sinzinger, V. Soltwisch
Poster PDF
A3 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

Imaging gratings with modulated blaze realized by a combination of holography and reactive ion beam etching

M. Burkhardt, R. Fechner, L.Erdmann, F.Frost, R. Steiner, O. Sandfuchs, A. Schindler, A. Gatto, S. Sinzinger
Vortrag PDF
A21 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Sub-Nanometer-RMS Rauheit von Einkorn-diamantgedrehten Metalloberflächen mittels Ionenstrahlglättung

F. Frost, H. Takino, R. Fechner, A. Schindler, N. Ohi, K. Nomura