T. Herffurth

A25 · Talk · 118. Conference (2017)

Streulichtanalyse hochqualitativer Optikkomponenten

T. Herffurth, A. v. Finck, M. Trost, S. Schröder

B18 · Talk · 116. Conference (2015)

Compact and fast sensor systems for light scattering analysis of optical components

T. Herffurth, S. Schröder, A. Duparré

P6 · Poster · 115. Conference (2014)

Streulichtbasierte Detektion von Subsurface Damage in geschliffenen und polierten Glasoberflächen

M. Trost, M. Hauptvogel, S. Schröder, T. Herffurth, A. Duparré

A30 · Talk · 113. Conference (2012)

Optical scattering - from simple models to complex applications

S. Schröder, M. Trost, T. Herffurth, A. Duparré, J. Wang, H. Schreiber

P10 · Poster · 113. Conference (2012)

Defect assessment of optical surfaces using the light scatter sensor HOROS

T. Herffurth, S. Schröder, A. Duparré

P24 · Poster · 112. Conference (2011)

Kompakter streulichtbasierter Rauheitssensor

T. Herffurth, M. Hauptvogel, A. Duparré, A. Tünnermann

P24 · Poster · 111. Conference (2010)

Bewertung der Poliergüte schwer zugänglicher Oberflächen durch Streulichtmethoden

S. Schröder, M. Trost, T. Herffurth, A. Duparré

P65 · Poster · 110. Conference (2009)

EUV scattering measurements of optical components

T. Herffurth , M. Trost, S. Schröder, A. Duparré, A. Tünnermann

P29 · Poster · 109. Conference (2008)

Streulicht- und Reflexionsmesstechnik für 13,5 nm

S. Schröder , T. Herffurth, M. Trost, A. Duparré, A. Tünnermann