A. Duparré

B18 · Vortrag · 116. Tagung (2015)

Compact and fast sensor systems for light scattering analysis of optical components

T. Herffurth, S. Schröder, A. Duparré

B19 · Vortrag · 116. Tagung (2015)

Multi-wavelength table top light scattering metrology

A. von Finck, M. Trost, S. Schröder, A. Duparré

P7 · Poster · 116. Tagung (2015)

Combined optical sensor for simultaneously measuring roughness and 3D shape

M. Hauptvogel, S. Schröder, I. Schmidt, A. Duparré, G. Uhlrich, U. Nehse, P. Kühmstedt, G. Notni

B17 · Vortrag · 115. Tagung (2014)

System zur hochsensitiven spektral- und winkelaufgelösten Streulichtmessung an optischen Komponenten

S. Schröder, A. von Finck, D. Unglaub, A. Duparré

B18 · Vortrag · 115. Tagung (2014)

Streulichtmessung optischer Komponenten im infraroten Spektralbereich

M. Hauptvogel, S. Schröder, L. Mejnertsen, M. Trost, A. Duparré

P6 · Poster · 115. Tagung (2014)

Streulichtbasierte Detektion von Subsurface Damage in geschliffenen und polierten Glasoberflächen

M. Trost, M. Hauptvogel, S. Schröder, T. Herffurth, A. Duparré

B21 · Vortrag · 114. Tagung (2013)

OPO-basiertes System zur hochsensitiven winkel- und wellenlängenaufgelösten Streulichtmessung

D. Unglaub, S. Schröder, A. Duparré

B22 · Vortrag · 114. Tagung (2013)

Matrix-Sensor-basierte Methodik zur schnellen, hochauflösenden BTDF-Messung optischer Komponenten und Systeme

M. Opel, S. Schröder, A. Duparré

A29 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

Optical performance and symmetry assessment of diamond cuts using the ALBATROSS-TT system

A. von Finck, M. Hauptvogel, A. Duparré

A30 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

Optical scattering - from simple models to complex applications

S. Schröder, M. Trost, T. Herffurth, A. Duparré, J. Wang, H. Schreiber

P10 · Poster · 113. Tagung (2012)

Defect assessment of optical surfaces using the light scatter sensor HOROS

T. Herffurth, S. Schröder, A. Duparré

A10 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Table-Top Streulichtmesssystem ALBATROSS-TT

A. von Finck, M. Hauptvogel, A. Duparré

P24 · Poster · 112. Tagung (2011)

Kompakter streulichtbasierter Rauheitssensor

T. Herffurth, M. Hauptvogel, A. Duparré, A. Tünnermann

A15 · Vortrag · 111. Tagung (2010)

PSD-Analyse: Schlüssel zur funktionsgerechten Rauheitscharakterisierung optischer Oberflächen

L. Coriand, S. Schröder, A. Duparré

P23 · Poster · 111. Tagung (2010)

Separation von Streulichteffekten zur zerstörungsfreien Detektion von Sub-Surface-Damage

D. Schmitz, S. Schröder, A. Duparré

P24 · Poster · 111. Tagung (2010)

Bewertung der Poliergüte schwer zugänglicher Oberflächen durch Streulichtmethoden

S. Schröder, M. Trost, T. Herffurth, A. Duparré

C26 · Vortrag · 110. Tagung (2009)

Nanoroughness characterization of complex surfaces by advanced light scattering techniques

A. Duparré, S. Schröder

P65 · Poster · 110. Tagung (2009)

EUV scattering measurements of optical components

T. Herffurth , M. Trost, S. Schröder, A. Duparré, A. Tünnermann

P29 · Poster · 109. Tagung (2008)

Streulicht- und Reflexionsmesstechnik für 13,5 nm

S. Schröder , T. Herffurth, M. Trost, A. Duparré, A. Tünnermann

P30 · Poster · 109. Tagung (2008)

Streulichtmesssystem ALBATROSS

S. Gliech, R. Wendt, A. Duparré

P31 · Poster · 109. Tagung (2008)

Makyoh-Imaging zur Charakterisierung reflektierender Oberflächen

A. v. Finck , S. Gliech, A. Duparré, M. Pfeffer

P3 · Poster · 108. Tagung (2007)

Streulichtverfahren zur Inspektion ultra-präzisionsbearbeiteter Oberflächen

S. Gliech, S. Schröder, A. Duparré, G. Notni

P5 · Poster · 108. Tagung (2007)

Streulichtmesstechnik für 193 nm und 13,5 nm

S. Schröder, S. Gliech, A. Duparré

P6 · Poster · 108. Tagung (2007)

Volumenstreuung von synthetischem Quarzglas bei 193 nm

S. Schröder, B. Kühn, A. Duparré

H4 · Hauptvortrag · 107. Tagung (2006)

Sensitive und flexible Streulichtmesstechnik für den tiefen UV- bis infraroten Spektralbereich

A. Duparré, S. Gliech, S. Schröder

P54 · Poster · 107. Tagung (2006)

Rasterkraftmikroskopische Metrologie an optischen Oberflächen

M. Flemming, A. Duparré

B4 · Vortrag · 105. Tagung (2004)

Hochauflösende Streulichtanalyse an optischen Komponenten im VUV bis IR

S. Gliech, S. Schröder, A. Duparré