112. Annual Conference

Ilmenau, 2011 · June 15, 2011 – June 18, 2011 · 141 papers

55 Jahre Optik in Ilmenau - von der analytischen Bildfehlertheorie zu optischen Mikrosystemen

S. Sinzinger, Beate Mitschunas, Ralf Weber

Grundlagen laserinterferometrischer Präzisionsmessgeräte

Variable Beleuchtungssysteme - Konzepte und Limitationen am Beispiel Lithographie

Keynote PDF 13:30

Array of Tunable Complex Amplitude Filters for Extended Depth of Field

J.Ojeda-Castañeda

Microsystem concept for sensing applications

Hans Peter Herzig

Photopolymer Materials

Lightfield photography and the tomographic analysis of optical phase space

Keynote PDF 09:30

Phase-Shift vs. Line-Shift: Two ways to do Deflectometry

Ch. Faber, D. Sprenger, G. Häusler

Table-Top Streulichtmesssystem ALBATROSS-TT

A. von Finck, M. Hauptvogel, A. Duparré

Fourier-Scatterometrie zur Charakterisierung von sub-lambda Zwei-Photonen-Polymerisations-strukturierten Kreuzgittern

V. Ferreras Paz , S. Peterhänsel , K. Frenner , W. Osten , A. Ovsianikov , K. Obata , B. N. Chichkov

Strukturbreitenmessungen an einer phasenschiebenden Photomaske mittels verbessertem DUV-Scatterometer

B. Bodermann , M. Wurm , St. Bonifer , J. Richter

Ermittlung der Übertragungsfunktion einer auf Glasfiltern basierenden Multispektralkamera

B. Ruggaber , F. Schmidt , U. Krüger

Spectral Imaging revolutioniert den Markt der industriellen Qualitätsmesstechniken

Einsatz von bidirektionalen Mikrodisplays in der Messtechnik

C. Großmann, F. Perske, S. Zwick, St. Riehemann, G. Notni, A. Tünnermann

Multisensortechnologie mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine

E. Manske, G. Jäger, T. Hausotte

Automatisches multiskaliges Messsystem zur Inspektion von mikro-elektro-mechanischen Systemen

W. Lyda, A. Burla, T. Haist, W. Osten

Optische Mikromanipulation in maßgeschneiderten Ince Gauß Strahlen

Ch. Alpmann , M. Woerdemann , C. Denz

'In situ - Manipulation' von Mikropartikeln durch eine nichtlineare optische Pinzette

St. Gläsener, M. Eßeling, C. Denz

Absolut-Abstandsreferenz für die Streifenreflexionstechnik zur Verringerung systematischer Messfehler

M. Sandner , W. Li , Th. Bothe , J. Burke , Ch. v. Kopylow , R. B. Bergmann

Diffraktiv optische Elemente für künstlerische und darstellende Anwendungen

Th. Kusserow, B. Schiel, H. Hillmer

Absolutkodierung für einen diffraktiven optischen Drehgeber

D. Hopp , Ch. Pruss , W. Osten , F. Sterns ,K.-P. Fritz , J. Seybold , V. Mayer , H. Kück

Messtechnische Auswertung optischer Freiformflächen

Optische Messverfahren zur Hochgeschwindigkeitsprüfung von rotationssymmetrischen Präzisionswerkzeugen

Maschinenintegrierte Messtechnik für die Herstellung von Diamantschneidwerkzeugen

D. Fleischle , R. Berger , W. Lyda , W. Osten , A. Sobotka

Optisches Mikrophon = Nanophon® als Michelson-Interferometer mit Wavelet-Datenkompression

E. Roth, C. Hoffmann

Design von Hochleistungstransportfasern mit wenigen Moden

A. Lorenz, A. Hartung, H. Bartelt, S. Schröter

Plasmonische Effekte in metallbefüllten mikrostrukturierten optischen Fasern

R. Spittel, J. Kobelke, K. Schuster, H. Bartelt

Erzeugung von Faser-Bragg-Gittern in Saphirfasern für die Hochtemperatursensorik

T. Elsmann, E. Lindner, M. Becker, H. Bartelt

Tomographische Messung der Spannungsverteilung in optischen Faser-Preformen mit mikrostrukturiertem Kern

F. Just, Ch. Segel, H. Bartelt

Deflektometrische Selbstkalibrierung für spiegelnde Objekte

E. Olesch, Ch. Faber, G. Häusler

Generierung dynamischer Intensitätsverteilungen für die Oberflächenstrukturierung durch Umschmelzen mittels Laserstrahlung

V. Morasch , A. Temmler , P. Loosen

Regelung von Laserscribing- und Laserablationsprozessen mit optischem Echtzeitmesssystem

P. Strohm , A. Blug , D. Carl , H. Höfler , O. Krause , M. Panzner

Ein Kilowatt-Liniengenerator für Faserlaser als Beispiel für Integration von diffraktiver und konventioneller Optik in einem System

St. Müller-Pfeiffer, R. Schreiner, K. Gäbel, T. Gnausch

Hybride freiformoptische Komponenten - Realisierung komplexer Strahlformungen mittels integrierter Fertigungsverfahren

R. Kleindienst, S. Stoebenau, R. Kampmann, St. Sinzinger

Ansichtenplanung zur 3-D Rekonstruktion unter Berücksichtigung von Vollständigkeit und Messunsicherheit

Ch. Munkelt , P. Kühmstedt , G. Notni , J. Denzler

Geschwindigkeitsoptimierung eines hochauflösenden, maschinenintegrierbaren 3D-Sensors auf Basis Streifenprojektion

A. Breitbarth, I. Schmidt, P. Kühmstedt, G. Notni

Nichtäquidistante Sensoranordnung zur absoluten Profilvermessung

A. Wiegmann, M. Schulz

Verbesserung der Kantenfindung mit einem Fokussensor durch Simulationen auf der Grundlage rigoroser Beugungstheorie

H. Baitinger , E. Manske , R. Mastylo , N. Vorbringer-Dorozhovets , St. Sinzinger , G. Jäger ,J. Bischoff

Optische Präzisionsmessung von Nick, Gier und Rollwinkel mittels Autokollimator

SensMiLi: optisch absolutes Wegmess-System aus einspurig q-nären Pseudo-Zufalls-Sequenzen für Miniatur-Linearmotoren

D. Wibbing , J. Binder , W. Schinköthe

Virtuelle und reale Experimente am neuen deflektometrischen Ebenheitsstandard

G. Ehret, M. Schulz, M. Baier, A. Fritzenreiter, W. Jöckel, M. Stavridis, C. Elster

Optische Formvermessung von Solarspiegeln

U. Krackhardt, J. Bär

Full-field macroscopic measurement of specular, curved surfaces with SIM

Z. Yang, Ph. Dienstbier, A. Bielke, M. Vogel, Ch. Faber, G. Häusler

Minimierung chromatischer Passemessfehler bei kurzkohärenter Interferometrie

V. Weidenhof, M. Altenberger , B. Dörband

Frequenzkamm Beleuchtung für Fizeau-Interferometer zur Ausschaltung von Störinterferenzen

Kohärenz im Mikrometerbereich, Messung und Anwendung

P. Petruck, R. Riesenberg, M. Kanka, U. Hübner, R. Kowarschik

Mikrostrukturierte Photodioden mit Wellenlängen- und Richtungsselektivtät

M. Will , O. Brodersen , E.-B. Kley , St. Hechler

Verallgemeinerte Sinusbedingung für ausgedehnte Objekte

J. Wesner, J. Heil, H.-M. Heuck

Simulation des Feldes eines ultrakurzen Pulses im Fokus eines hochaperturigen optischen Systems

N. Lindlein, A. Webster, W. Iff

Optische Systeme ohne Rotationssymmetrie: Bestimmung von Bildlage und Bildorientierung

M. Hillenbrand , B. Mitschunas , St. Sinzinger , R. H. Abd El-Maksoud

Modellierung und Simulation optischer Systeme

Vergrößerung der Schärfentiefe einer Abbildungsoptik durch gezielte Einführung eines Farblängsfehlers

Zoomoptik für Annäherungssensoren im Weltall

St. Kirschstein, F. Kolb

Optische Äquivalent-Modelle für das menschliche Auge hinsichtlich Laserbehandlungen

K. Frey, M. Palme, St. Riehemann, G. Notni

Funduskamera zur berührungslosen Bildgebung und retinalen Gefäßanalyse in der Ratte

D. Link , B. U. Seifert , C. Strohmaier , H. A. Reitsamer , W. Vilser

Über die Verminderung der Depolarisation in einem DUV-Objektiv mit großer numerischer Apertur - eine Fallstudie

St. Müller-Pfeiffer, J. Finster, O. Falkenstörfer

Eine Möglichkeit zur Angleichung der spektralen Eindringtiefen des evaneszenten Feldes in der TIRF Mikroskopie

Räumlich aufgelöste nichtpixelierte aktive mikrooptische Polarisationsformung

F. Schaal , M. Wiesner , M. Jetter , R. Rossbach , P. Michel , Ch. Pruss , W. Osten , S. Weidenfeld , J. Stumpe , M. Rutloh

Toleranzen in der Beleuchtungsoptik: Freiformflächen, Arrays und 10 Millionen Strahlen

A. Hofmann, S. Junginger, A. Timinger

Kombinierte Thermo-Optische Simulation für Optische Systeme

A. Gatej , U. Thombansen , P. Loosen

Optimierung des Beleuchtungssystem eines Mask Aligners (MO Exposure Optics)

U. Vogler , A. Bich , M. Hornung , R. Zoberbier , R. Völkel , St. Sinzinger

Parametrische Optimierung refraktiver Strahlformungssysteme unter Berücksichtigung von Beugungs- und Interferenzeffekten

H. Schweitzer , M. Kuhn , Ch. Hellmann , F. Wyrowski

Optimierte Lichtverteilung für ein LED-basiertes Landescheinwerfersystem einer Boeing 787 - Erhöhung der Flugsicherheit im Landeanflug

Berechnung von Ultraschall-Reflektoren mit kommerziellen Optikprogrammen

Analysis and optimization of volume diffusors

M. Englert , W. Juschtschenko , M. Hagemann , M. Brinkmann , St. Sinzinger

Holografisch mikrostrukturierte Gitter für Hochleistungs-spektrometer

O. Sandfuchs , M. Burkhardt , R. Steiner , A. Gatto , R. Brunner

Die Simulation nanostrukturierter Solarzellen mit der FDTD Methode

B. Michel ,J. Pond

Aspekte zur Berechnung der lokalen Absorption mit der RCWA

M. Auer, K.-H. Brenner

Polarisationsselektive InP MOEMS Filter mit Photonischen Kristallen

Th. Kusserow, R. Zamora, M. Wulf, U. Akcakoca, R. Marklein, B. Witzigmann, H. Hillmer

Digitale Mehrwellenlängenholographie zur schnellen 3D-Vermessung technischer Oberflächen

M. Fratz , D. Carl , M. Pfeifer , D. Giel , H. Höfler , D. Skoczowski , A. Heuer

Enlarging the Application Range of Digital Holographic Microscopes for Deformation of Rough Surfaces

A. Brunn , A. Ettemeyer , Y. Delacrétaz , Ch. Depeursinge , Y. Emery

Tomographic imaging of hydrogels by digital holography microscopy

C. Yuan , G. Pedrini , J. Ma , W. Osten , G. Fu

Anpassung von digitalholographischen Propagationsalgorithmen an kurzkohärente Lichtquellen in einem hochauflösenden Sensorsystem

St. Stürwald, R. Schmitt

Interferometrie mit ultrakurzen Terahertz-Pulsen

A. Brahm, A. Weigel, St. Riehemann, G. Notni, A. Tünnermann

Interferometrische Steigerung des Auflösungsvermögens optischer Rastermikroskope

D. Weigel, R. Förster, H. Babovsky, A. Kießling, R. Kowarschik

Spektralbereichsbasierte refraktive Kurzkohärenzinterferometrie

C. Brückner , J. Liebermann , J. Haueisen , B. Grajciar , A. F. Fercher

Hologramm-Interferometrie zur Deformationsbestimmung stereoskopisch vermessener Objekte

H. Babovsky, B. Harendt, M. Große, A. Kießling, R. Kowarschik

Lichtmodulatorbasierte Multifunktionsmikroskopie

M. Hasler, M. Warber, T. Haist, W. Osten

Kompensation verkippter Abbildungsebenen in der digitalholographischen Mikroskopie

F. Schlichthaber, B. Kemper, G. von Bally

Monolithisches Fertigungskonzept für die kostengünstige Herstellung optischer Mikrosysteme

F. Merchán, K.-H. Brenner

Mikrosystem zur Partikelkonzentrationsmessung auf Basis der Talbotinterferometrie

M. Hofmann, R. Kampmann, St. Sinzinger

FLORES - Entwicklung eines neuartigen Mikrosensors zur Fluoreszenzdetektion in fluidischen Systemen

A. Zepp , F. Bitti , B. Greiner , Ch. Müller , H. Mathis , M. Will , O. Brodersen

The Light Cube - Representing Light in Optical Modeling

F. Wyrowski , J. Tervo , J. Turunen , P. Vahimaa

Non-Sequential Field Tracing

M. Kuhn , F. Wyrowski

Aspekte der Lichtausbreitung zwischen verkippten Ebenen

Design des Beleuchtungspfads für ein miniaturisiertes paralleles Fluoreszenz-Mikroskop

E. Slogsnat, K.-H. Brenner

Charakterisierung eines UPM-gefertigten 1x4 Strahlteilersystems mit Hilfe von Raytracing-Berechnungen

M. Bohling, J. Jahns

Optische Faserspitzen für nanoskopische Anwendungen

J. Bierlich, J. Kobelke, D. Brand, H. Bartelt

Rechnergestütztes Design und geometriebasierte Simulation 3D strukturierter optischer Wellenleiter

Ch. Fischer , J. Franke , K.-J. Wolter , R. Rieske , L. Overmeyer , M. Dumke

Innovative Produktionsverfahren zur drucktechnischen Herstellung 3D-geführter optischer Wellenleiter

M. Dumke , D. Craiovan , J. Franke , L. Overmeyer , R. Rieske , K.-J. Wolter

Realisierung eines Messplatzes zur Bestimmung der anregungsabhängigen Dämpfung optischer Wellenleiter

M. Dumke, J.-F. Höffinghoff, L. Overmeyer

Parallelisierte Strahldurchrechnung auf modernen Grafikkarten für optische Simulation und Design

F. Mauch , W. Lyda , W. Osten , D. Fleischle

Polarisationsmikroskop: Konoskopische Beobachtung

Modellierung und Simulation bei Mask Aligner Lithographie (Source-Mask Optimization

U. Vogler , A. Bramati , R. Völkel , M. Hornung , R. Zoberbier , K. Motzek , A. Erdmann , L. Stürzebecher , U. Zeitner

Gläser mit verbesserter Reintransmission: "HTultra" Gläser

R. Jedamzik, T. Rossmeier

3D-Deformations- und Formerfassung auf Basis von ESPI, DSP und digitaler Bildkorrelation projizierter Specklemuster

M. Dekiff , Ph. Berssenbrügge , D. Dirksen , B. Kemper , C. Denz

Integriertes optisches Mikrosystem zur Fluoreszenzdetektion in bio-chemischen Analysatoren

A. Grewe , St. Sinzinger , S. Stoebenau , M. Amberg

Messung der elastischen Eigenschaften dünner Platten mittels Phase-Shifting Interferometrie

Kombinierte Ebenheits- und Rauheitsmessung mittels Speckle-Interferometrie

Th. Bodendorfer, A.W. Koch

Streulichtmessung mit Hartmann-Shack-Sensor am Auge

St. Schramm, B.-U. Seifert

Ermittlung der Licht-Streuung in Wasserdampf durch Simulation von Streuung in Nebel

K. Epple , M. Pfeffer , A. Gröning , M. Tahedl

Kompakter streulichtbasierter Rauheitssensor

T. Herffurth, M. Hauptvogel, A. Duparré, A. Tünnermann

Asphärenmesstechnik im Rahmen des Europäischen Metrologie-Forschungsprogramms EMRP

M. Schulz, G. Ehret, E. Buhr, C. Elster

Polarkoordinaten Messsystem zur schnellen, hochgenauen Formvermessung asphärischer Oberflächen

G. Berger, J. Petter, R. Nicolaus

Deflectometric Measurement of 10,000 Telescope Mirror Tiles

R. Krobot , Ch. Faber , E. Olesch , G. Häusler , A. Schulz , F. Stinzing , Ch. Stegmann

Deflectometry for Ultra Precision Machining - Measuring without Rechucking

Ch. Röttinger , Ch. Faber , E. Olesch , G. Häusler , M. Kurz , E. Uhlmann

Options and limitations of "Flying Triangulation"

F. Willomitzer, O. Arold, F. Huber, S. Ettl, G. Häusler

Sensoren zur besimmung Absorptions- und Fluoreszenzeigenschaften von Flüssigkeiten in Mikrofluidiksystemen

M. Will, O. Brodersen, A. Steinke

3D body scanning with "Flying Triangulation"

F. Huber, O. Arold, F. Willomitzer, S. Ettl, G. Häusler

Ein strukturierter Polarisationsanalysator, der die Poincaré-Kugel überspannt

W. Dultz , E. Frins , B. Hils , H. Schmitzer , L. Beresney

Hochgenaue polarimetrische Kalibrierung von Quarz-Kontrollplatten

M. Schulz, A. Fricke

Precise measurement of internal transmittance of high absorbing filter glass

St. Reichel, R. Biertümpfel

Erste Messungen mittels eines hochaperturigen 193 nm Mikroskops zur Strukturbreitenmessung

B. Bodermann, Z. Li, D. Bergmann, A. Diener, H. Kuhn

Schnelle und genaue 3D-Vermessung

M. Große, M. Schäffer, B. Harendt, R. Kowarschik

Driving Structured-Illumination Microscopy towards the Limits of Efficiency and Accuracy

M. Vogel, A. Kessel, Z. Yang, Ch. Faber, G. Häusler

Optisch scannender Kollisionsschutz für hochpräzise Messeinrichtungen

L. Selva Ginani, R. Theska

Optische Dezentrierungskompensation für Drehgeber

D. Hopp, Ch. Pruss, W. Osten

Monolithisches optisches Freiformelement für eine IR-Detektorzeile

St. Riehemann , M. Palme , R. Steinkopf , P. Munzert , G. Notni , J. Krieg

Herstellung eines optischen Sensorkopfes zur Gasanalyse mittels spanender, ablativer und planarer Fertigungsverfahren

M. Gruber , H. Winkelmann , M. Bohling , H. Knuppertz , R. Kleindienst , R. Kampmann

Hochgenaue Freiformflächen durch Präzisionsspritzguss für Massenanwendungen

Ultrapräzisionsgefräste optische Bauelemente - Analyse und Optimierung der Leistungsfähigkeit

S. Stoebenau, St. Sinzinger

Variation des Prestonkoeffizienten in Abhängigkeit der Relativgeschwindigkeit im Polierprozess

A. Kelm, R. Börret

Design und Fertigung von Freiformflächen für hochwertige LED-Architekturbeleuchtung

A. Hofmann, A. Timinger

Modellierung und Bearbeitung optischer Flächen mittels CAD/CAM-Software

Ch. Vogt, F. Schneider, H. Adelsberger

Messaufbau zur bi-spektralen Messung der Fluoreszenzeigenschaften von reflektierenden Materialien

A. Günther, K.-P. Gründer

Ein goniometrisches Farbmesssystem für Anwendungen in der Farbrezeptierung

Ph. Berssenbrügge , D. Neumann , Ch. Runte , M. Dekiff , D. Dirksen , C. Denz

Möglichkeiten und Grenzen der interferenzlithografischen Herstellung modulierter Blazegitter

M. Burkhardt , O. Sandfuchs , A. Gatto , R. Steiner , St. Sinzinger

Beugungsexperimente an helikalen und sinusoidalen Strukturen, die Rosalind Franklin's Entdeckung der DNA Struktur veranschaulichen

H. Schmitzer, G. Braun, J. Thompson, D. Tierney

DFB-Hochleistunglaserdioden bei 980 nm Wellenlänge

J. Koeth , W. Zeller , M. Kamp

Analyse eines neuen Systemkonzepts zur parallel scannenden Mikroskopie

T. Stenau, X. Liu, K.-H. Brenner

Erzeugung breitbandiger und kohärenter Superkontinuums-Strahlung in normaldispersiven optischen Fasern

High efficient transmission- and reflection gratings for femtosecond pulse compression applications

Ch. Ziener , M. Bender , H. Heeren , R. Müller , E. B. Kley , F. Brückner , P. Weißbrodt

Echtzeitfähige Laserstrahlregelung zur Kompensation thermischer Effekte

O. Pütsch, V. Morasch, M. Ch. Funck, P. Loosen

Quantitative Phasenrekonstruktion in Echtzeit unter Verwendung der Intensitäts-Transport-Gleichung

J. Frank , J. Beneke , S. Wette , St. Altmeyer , J. Matrisch , G. Wernicke

Talbot images formed with an arbitrary incidence wave

N. Sabitov, D.-P. Kelly, Th. Meinecke, St. Sinzinger

Numerical propagation algorithms and phase retrieval techniques

Th. Meinecke, D.-P. Kelly, N. Sabitov, St. Sinzinger

Kaufmann-Präzisions-Optik (ein Rückblick)

Mikrostrukturierung senkrechter Kanalwände mittels Talbot-Effekt

X. Ma, M. Krüger, St. Uske, St. Sinzinger

Scannende Compound-Kamera zur hochauflösenden 3D-Objektabtastung

D. Pätz , St. Leopold , St. Sinzinger , M. Hoffmann , F. Knöbber , O. Ambacher

Holographisch optische Pinzetten zur Anordnung und Organisation von Nanocontainern

M. Woerdemann, Ch. Alpmann, A. Devaux, L. De Cola, C. Denz

Systemintegration optischer Pinzetten

A. Oeder, St. Sinzinger